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設(shè)備結(jié)構(gòu)布局

適用于先進(jìn)的邏輯和存儲(chǔ)器芯片制造，為整個(gè)集成電路加工行業(yè)提供高效率的CMP解決方案。具有新型平坦化模組，新型干燥系統(tǒng)，模組整體組合優(yōu)化。